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HMDS氣相成底膜烘箱 真空HMDS氣相烘箱在晶圓上行噴涂hmds預(yù)處理的工藝，將晶圓表面親水性的置換為疏水性的，使晶圓表面接觸角達到65或更高。

HMDS預(yù)處理機H-2 智能HMDS真空烘箱為半導(dǎo)體應(yīng)用的光刻膠粘合促進劑工藝設(shè)備，

HDMS烘箱 HDMS真空烘箱 HDMS預(yù)處理烘箱保護裝置：緊急停止，HMDS藥液泄漏報&警提示，HMDS低液位報&警，超溫保護，漏電保護，過熱保護等

光刻膠HMDS烘箱 HMDS疏水處理烘箱應(yīng)用多晶硅，石英，太陽能電池片、金屬、貴金屬、藍寶石、SiC(碳化硅)、磷化銦、GaN(氮化鎵)、ZnO（氧化鋅）、GaO（氧化鎵）、金剛石等第三代半導(dǎo)體材料。

HMDS烘箱專用真空泵，HMDS系統(tǒng)無油泵較小的噪音 - 一臺干泵卻擁有較好的真空度，較大的抽速 - 停機時間短，維護成本更低

光伏電池片HMDS處理系統(tǒng)，HMDS預(yù)處理烘箱就是涂膠前要進行增粘處理。由于襯底表面吸水特性，使疏水的光刻膠無法與親水的晶圓表面結(jié)合良好。未經(jīng)過HMDS表面處理的晶圓在后道工藝中容易造成漂條、浮膠等，導(dǎo)致光刻圖形轉(zhuǎn)移的失敗，同時濕法腐蝕容易發(fā)生側(cè)向腐蝕。

HMDS烘箱真空泵，HMDS烘箱無油泵真空干泵具有(50dBA)和低振動運行的， 密封設(shè)計(真空區(qū)與電機和軸承全隔開) 可提供潔凈的泵內(nèi)氣體環(huán)路;從而消除了油或油脂帶來的污染風(fēng)險。