鈮酸鋰無氧化烘箱用于半導體晶片、半導體封裝和MEMS器件的批量生產。主要用于聚酰亞胺PI膠、CPI膠、BCB膠固化、低K電介質固化，LCP材料熱處理、鍵合材料預處理，FOWLP扇出封裝，ITO膜/鋁/銅退火，PBO膠固化等特殊工藝。
PI烘箱，厭氧烘箱固相亞胺化常用于PI薄膜的制備即將PAA溶液澆鑄成膜后加熱進行亞胺化溶液亞胺化是在PAA溶液中加入共沸溶劑加熱回流通過共沸溶劑的蒸出帶出反應過程中產生的水促進反應進一步進行。
智能型無塵無氧烘箱，高溫無塵 無氧化烘箱又稱為PI固化烘箱，厭氧烘箱，高溫無氧烘箱，用于PI、BCB膠高溫固化、LCP熱處理烘烤、光刻膠固化等電子，半導體、新材料行業。
