HMDS烘箱是將晶圓表面暴露于蒸汽態(tài)的HMDS的方式氣相涂膠。氣相HMDS主要是用來增黏的作用。

HMDS中文名六甲基二硅氮烷，是一種有機(jī)物，在水中的溶解性很低，但它可與多種有機(jī)溶劑混溶，比如醇、醚和多數(shù)非極性溶劑。溶劑清洗：可以使用有機(jī)溶劑溶劑（如異丙醇）來清洗晶圓，以去除多余的HMDS。

HMDS烘箱的作用

HMDS烘箱也稱為HMDS預(yù)處理系統(tǒng)，HMDS蒸鍍機(jī)等，是將HMDS蒸汽通過干燥的真空腔內(nèi)加熱到一 定溫度，在襯底表面上HMDS作為單層膜進(jìn)行化學(xué)結(jié)合，使這樣的襯底表面具有疏水性。

HMDS烘箱性能

溫度范圍：RT+10-250℃

真空度：≤1torr

控制儀表：彩色觸摸屏控制，操作更加簡單，方便

HMDS工藝：蒸汽氣相涂布

安全檢測：超溫保護(hù)，HMDS泄漏檢測提示

儲液瓶：HMDS儲液瓶 

真空泵：無油渦旋真空泵

工作室（mm）：300*300*300/450*450*450、定制